【時訊科普】半導(dǎo)體材料原理
?【時訊科普】半導(dǎo)體材料原理
?
硅片是最常用的半導(dǎo)體材料（晶圓），是由高純度硅制成的圓形薄板。
?
1、單晶拉制工藝
在硅片的生產(chǎn)中，首先對硅進行精煉和提純，生產(chǎn)出高純度的多晶硅，然后以多晶硅為原料，通過單晶拉制工藝生產(chǎn)單晶錠。
?
在單晶拉制過程中，多晶硅與硼酸（B）和磷（P）一起在石英坩堝中熔化，
籽晶硅棒附著在熔融硅的液面上并在旋轉(zhuǎn)的同時拉升。制作水晶錠。此時添加的微量硼酸和磷極大地影響最終產(chǎn)品半導(dǎo)體的電性能。
?
2. 晶圓加工流程
單晶錠在接下來的晶圓加工工序中被切成晶圓，然后拋光至鏡面光潔度，
以消除晶圓表面的任何凹凸不平。拋光也稱為拋光，此階段的晶圓稱為拋光晶圓。
?
拋光后的晶片可以直接用作半導(dǎo)體。應(yīng)半導(dǎo)體制造商的要求，我們增加了特殊加工，
生產(chǎn)用于小型產(chǎn)品的退火晶片，通過高溫?zé)崽幚恚ㄍ嘶鹛幚恚┖凸鑶尉У臍庀嗌L（外延生長）去除晶片表面的氧。晶圓表面等。