UV臭氧清洗和濕式清洗的結(jié)合
二次污染的注意
?玻璃表面的有機(jī)性污染膜厚度在單分子層以下時(shí)是非常清潔的表面狀態(tài)。即便是在實(shí)驗(yàn)室或這是無菌室里的大氣中也會有微量的揮發(fā)性有機(jī)化合物或者硫化合物，將洗凈玻璃放置于這種環(huán)境下也會被這些蒸汽污染。高度清洗過后的表面接觸角會在30分到1小時(shí)內(nèi)恢復(fù)到20度。因此我們認(rèn)為超高清潔玻璃不易長時(shí)間保存。
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可以將粒子極限清洗的清洗工藝
UV臭氧清洗和濕式清洗的結(jié)合
UV臭氧清洗是使有機(jī)性污染膜清洗到單分子層以下的高清洗技術(shù)，如下圖所示在完成清洗階段使用UV臭氧清洗技術(shù)。但是UV臭氧清洗對于粒子沒有效果。同時(shí)濕式清洗不能完全清除有機(jī)性污染，會保留幾個(gè)分子層厚度的油膜。被這些油墨所吸收的粒子在沖洗過程中很難被全部清洗掉。UV臭氧清洗是完成階段的清洗，在生產(chǎn)過程中我們發(fā)現(xiàn)了如下圖所示UV臭氧清洗后使用例如溫水沖洗的清洗工藝。UV臭氧清洗如圖所示油膜基本上都可以清除。在此之后使用純水沖洗可以將沒有油膜保護(hù)的粒子很容易的沖洗掉，得到?jīng)]有粒子，沒有有機(jī)污染物的高清潔面。
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這種技術(shù)方法不但在液晶顯示裝置的現(xiàn)場使用，在原版曝光和分光板的制造工程中也被大量使用。
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